臺(tái)式掃描電鏡在觀察照射物體的細(xì)電子束掃描時(shí)，觀察的三維結(jié)構(gòu)的表面（形狀）。一般來(lái)說(shuō)，用掃描電鏡是一個(gè)單向觀察圖像，使圖像是相同的圖像平面與單眼觀察。為了得到一個(gè)三維圖像，該方法是通過(guò)傾斜的載體，從不同的角度分別獲得同等的右眼和左眼觀察觀察靜止圖像（視差圖像）和合成，所以戴上紅藍(lán)眼鏡。但這種方法需要時(shí)間，也需要調(diào)整視差圖像，所以它不能實(shí)時(shí)觀察樣品的掃描電鏡圖像。
這時(shí)發(fā)達(dá)的邊緣交換機(jī)照射試樣的電子束角和高速掃描技術(shù)，成功實(shí)現(xiàn)了左右視差圖像瞬時(shí)訪問(wèn)。具體做法使用電磁透鏡的會(huì)聚作用，使電子束傾斜。然而，連接器電子束傾斜伴隨像差會(huì)導(dǎo)致較低的分辨率。這一任務(wù)發(fā)展致力于發(fā)展電子光學(xué)系統(tǒng)和光束掃描控制技術(shù)以及使用的技術(shù)部分。
臺(tái)式電鏡在失效分析中，除了金屬樣品外，還有很多非金屬樣品，這些樣品導(dǎo)電性很差。要分析這些非導(dǎo)電樣品，樣品的充電是不可避免的。由于電子束打到樣品上使樣品帶電，其產(chǎn)生的電場(chǎng)影響了二次電子的產(chǎn)生和接收，使圖像上呈現(xiàn)一片片亮的或暗的區(qū)域，無(wú)法進(jìn)行正常觀察。要對(duì)這些非導(dǎo)電樣品進(jìn)行分析，就必須排除樣品充電的影響。其方法之一就是將樣品上的電荷中和掉。
臺(tái)式掃描電鏡所采取的措施是：
使樣品室處于低真空狀態(tài)，樣品表面所產(chǎn)生的二次電子與樣品室中的氣體分子相碰撞，使氣體電離，這些氣體離子附著于樣品表面，將樣品上所帶的電荷中和掉。使用專(zhuān)門(mén)的探測(cè)器，接收二次電子與氣體分子相碰撞時(shí)產(chǎn)生的光子，這些光子也就代表了二次電子信號(hào)，使成像不受樣品導(dǎo)電性的影響，在分析這些樣品時(shí)能夠得到理想的成像。
臺(tái)式掃描電鏡對(duì)一些含水、含油的樣品，可以采用更低的真空度，使水分在該壓力、溫度下不至于揮發(fā)，這樣便可觀察到真實(shí)的生物樣品形貌。
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